你了解CMP設(shè)備是如何拋光和清洗的嗎？
發(fā)布日期:2025/2/14 8:53:44? 瀏覽次數(shù):
你了解CMP設(shè)備是如何拋光和清洗的嗎？
答/:眼前這個(gè)在賣力研磨的“強(qiáng)迫癥”，就是半導(dǎo)體制造中的核心工藝裝備，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，簡(jiǎn)稱CMP設(shè)備。它通過化學(xué)腐蝕和機(jī)械研磨的結(jié)合，去除晶圓表面多余材料，實(shí)現(xiàn)高精度平坦化處理，為后續(xù)光刻、刻蝕等工藝奠定基礎(chǔ)。
CMP設(shè)備的核心包括拋光部分和清洗部分。拋光部分由拋光頭和研磨盤組成，拋光頭吸附晶圓并施加壓力，研磨盤帶動(dòng)拋光墊旋轉(zhuǎn)，確保表面平整。清洗部分則通過清洗刷和供液系統(tǒng)去除拋光后的顆粒和污染物，保證晶圓潔凈。
在這個(gè)工作過程中，很多部位或者零部件，都會(huì)暴露于研磨液等腐蝕性介質(zhì)中，因此對(duì)軸承的耐腐蝕性、耐磨性和耐高溫性能要求嚴(yán)苛。軸承一旦損壞，可能導(dǎo)致設(shè)備振動(dòng)增加、精度下降，甚至引發(fā)晶圓劃傷，造成巨額損失。
因此，選擇合適的軸承至關(guān)重要，陶瓷軸承因其耐腐蝕、高剛性、低熱膨脹、非磁性等特性，完美適應(yīng)CMP設(shè)備的嚴(yán)苛環(huán)境。例如，讓云軸承中的氮化硅陶瓷軸承在高溫、高速和化學(xué)腐蝕環(huán)境下表現(xiàn)優(yōu)異，能顯著延長(zhǎng)設(shè)備壽命，降低維護(hù)成本。如果您有類似工況，軸承的選擇困惑，可隨時(shí)聯(lián)系我們！
全國(guó)熱線：4006-808-505
技術(shù)服務(wù)：136-5744-5999
銷售服務(wù)：136-5744-3999
尊敬的讀者：您好！本文章/視頻內(nèi)容旨在為您提供文章/視頻所提到的軸承產(chǎn)品、軸承知識(shí)、軸承解決方案、行業(yè)應(yīng)用或是行業(yè)解決方案等，但內(nèi)容我們有所保留、保密或是屏蔽，除保密協(xié)議內(nèi)的內(nèi)容，我們都可以定向分享，并很樂意提供樣品以供測(cè)試， 此行業(yè)軸承技術(shù)人員：李經(jīng)理：13657445999，
更多內(nèi)容：關(guān)注/搜索“讓云科技”，抖音/快手/微信企業(yè)公眾號(hào)，官方分享、傳播更精彩!
