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千萬(wàn)別小瞧線性導(dǎo)軌軸承!
發(fā)布日期:2025/4/9 9:40:08?      瀏覽次數(shù):      

在光刻機(jī)內(nèi)部,納米級(jí)震動(dòng)正步步緊逼,而它,就是阻止 5 億美元設(shè)備癱瘓的最后防線。這究竟是怎么回事?

光刻機(jī),利用極紫外光將掩模版上的電路圖案投影到硅片上,制造出超精密芯片。其中,線性導(dǎo)軌軸承至關(guān)重要,它要保證工作臺(tái)在納米精度下平穩(wěn)移動(dòng)。一旦定位出現(xiàn)偏差,電路圖案就會(huì)扭曲,芯片良品率直線下降,因定位偏差導(dǎo)致的廢品率最高可達(dá) 30%。

納米級(jí)震動(dòng)對(duì)光刻機(jī)的破壞不容小覷。在光路系統(tǒng)中,細(xì)微震動(dòng)會(huì)使反射鏡和透鏡位移,改變光線傳播方向,哪怕是極微小的入射角變化,都會(huì)造成芯片電路圖案畸變,嚴(yán)重影響性能。

對(duì)工作臺(tái)而言,在 7 納米及以下先進(jìn)制程中,納米級(jí)震動(dòng)引發(fā)的抖動(dòng)與偏移,會(huì)降低電路圖案疊加精度,致使芯片短路或斷路。同時(shí),持續(xù)的震動(dòng)還讓光刻機(jī)各零部件承受額外應(yīng)力,線性導(dǎo)軌軸承的滾珠與滾道加速磨損,導(dǎo)致軸承精度下降,縮短設(shè)備壽命。

面對(duì)挑戰(zhàn),行業(yè)積極應(yīng)對(duì)。通過(guò)優(yōu)化線性導(dǎo)軌軸承設(shè)計(jì),增強(qiáng)其剛度和阻尼特性,降低震動(dòng)傳遞;采用空氣彈簧、磁懸浮等先進(jìn)隔振技術(shù),隔離外界干擾;搭建實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與反饋控制系統(tǒng),對(duì)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)償,確保定位精準(zhǔn)。

小小線性導(dǎo)軌軸承,肩負(fù)著光刻機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行的重任。攻克納米級(jí)震動(dòng)難題,不僅是為了守護(hù)昂貴的設(shè)備,更是推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)邁向新高度的關(guān)鍵一步。

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